Zum 1. Oktober 2001 ging die neue Carl Zeiss Semiconductor Manufacturing Technologies AG (Carl Zeiss SMT AG) als hundertprozentige Tochtergesellschaft von Carl Zeiss an den Start. Die Aktiengesellschaft ist aus dem Unternehmensbereich Halbleitertechnik von Carl Zeiss hervorgegangen. Sie betreibt zusammen mit ihren Tochtergesellschaften das Zeiss Geschäft mit der Halbleiterindustrie.
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