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Messungen bis in den Nanobereich

3D-Konturscanner
Messungen bis in den Nanobereich

Messungen bis in den Nanobereich
Eine hochpräzise Erfassung von Oberfläche, Form und Kontur bis in den nm-Bereich – das ermöglicht Taylor Hobson mit seinem optischen 3D-Konturscanner Luphoscan. Das Messsystem beruht auf einer MWIR-Technologie (Multi-Wavelength-Interfermometer).

Die Sensoren werten auf Basis der optischen Interferometrie die Abstände zwischen Sensor und Bauteil-Oberfläche mit Genauigkeiten von bis zu 2 nm aus. So können feinste Formen und Konturen – etwa die Rundheit eines Bauteils – mit hoher Präzision und Effizienz erfasst und dokumentiert werden.
Das Bauteil wird auf einer luftgelagerten Spindel im Mess- und Referenzraum rotiert, während die Sensoren der Sollkontur des Prüflings folgen und die Abweichung exakt ermitteln. Selbst große Bauteile können mit hoher Geschwindigkeit dreidimensional erfasst werden.
Die Messdauer für ein Bauteil mit etwa ø130 mm beträgt nur circa 5 min. In Kombination mit der Mess- und Analysesoftware können alle Details des Bauteils exakt analysiert und dokumentiert werden.
Taylor Hobson, Halle 1, Stand 1302
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