DT für Dual Technology steht auf dem neuen MicroSpy Topo von Fries Research & Technology. Diese zwei Buchstaben signalisieren die vielseitigkeit des Oberflächenmessgeräts: die Kombination eines Spinning-Disc Konfokalmikroskops mit einem Weißlicht-Interferometer. Damit lassen sich sowohl minimal als auch stärker strukturierte Proben mit Mikro- und Nanometerauflösung vermessen. Konzipiert wurde das optische Messgerät für Anwender in der Forschung und Produktentwicklung sowie der begleitenden Produktionskontrolle.
Minimal strukturierte Probenoberflächen wie Linsen, Glas oder Wafer misst das Weisslicht-Interferometer im Phase-Shift-Modus. Die 3D-Topographie wird dabei typischerweise mit Sub-Nanometer-Auflösung in weniger als 10 Sekunden in einem Bildfeld von bis zu 7,1 mm x 5,3 mm großflächig erfasst. Die generierte Topographie ist Ausgangspunkt für weitere hochpräzise Geometrie-, Rauheits- oder Ebenheitsanalysen am Messcomputer. Im Mirau-Modus wird im Gegensatz zur Phase-Shift-Interferometrie der maximale Interferenzkontrast einer Fokusebene ausgewertet, sodass auch stärker strukturierte Oberflächenstrukturen gemessen werden können.
FRT Fries Research Technology, Bergisch Gladbach www.frt-gmbh.com
Halle 7,
Stand 7238
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