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2D-/3D-Messungen im Sub-Mikrobereich

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2D-/3D-Messungen im Sub-Mikrobereich

2D-/3D-Messungen im Sub-Mikrobereich
Die 2D-/3D-Laserscan-Farbmikroskope des Unternehmens Keyence, Neu-Isenburg, kombinieren den Komfort eines optischen Mikroskops mit den Vorzügen eines Rasterelektronenmikroskops und den Analysefunktionen eines Oberflächen-/Rauheitsmessgeräts. Das Topmodell VK-9700 bietet eine maximale Auflösung von 0,001 µm und Vergrößerungen bis 18.000x. Das Modell VK-8700 weist eine Messauflösung von 0,01 µm und Vergrößerungen bis 12.000x auf.

Damit lassen sich Metallgefüge und Werkstofffehler wie Poren, Mikrolunker, Gasblasen, Risse, Seigerungen ebenso analysieren wie Feinstpartikelmessungen (Nanotechnologie) vornehmen oder Halbleiterstrukturen visualisieren.
Die räumliche Darstellung ist vergleichbar mit denen von REMs, die hochauflösenden Farbbilder entsprechen optischen Mikroskopen, während die Messgenauigkeit die von Oberflächen-/ Rauheitsmessgeräte weit übertrifft. Zudem findet eine berührungslose 2D-/3D-Messung statt.
Die VK-Mikroskope ermöglichen vielfältige 2D-/3D-Messungen wie Profilmessungen, Vergleichsmessungen zwischen Querschnittsprofilen, Rauheitsmessungen, 3D-Messungen, Oberflächentextur-Messungen u.a.m
Keyence, Neu-Isenburg
Halle 6 Stand 6303
QE 540
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