Mikromontageprozesse werden meist unter Zuhilfenahme von Bildverarbeitung mit Positioniermaschinen durchgeführt, wobei derzeit die Messung von Entfernungswerten sehr schwierig ist. Taktile Wegmesssysteme scheiden aufgrund der geringen Maße der Mikrobauteile von vornherein aus, so dass grundsätzlich berührungslos wirkende Systeme eingesetzt werden müssen. Das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT präsentiert einen faser-optischen Mikrosensor auf Basis der Weißlichtinterferometrie. Neben der stark miniaturisierten Sensorspitze mit einem Durchmesser von ca. 500 Mikrometern ist der spezielle Stufenspiegel ein weiteres zentrales Element dieses Mess-systems. Dieser Spiegel erlaubt einen robusten interferometrischen Aufbau ohne zusätzliche mechanische Verfahrwege und ermöglicht so eine hohe Präzision verbunden mit Verschleiß- und Wartungsfreiheit.
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