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Computertomographie im Submikrometerbereich

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Computertomographie im Submikrometerbereich

Computertomographie im Submikrometerbereich
Die dreidimensionale zerstörungsfreie Prüfung mit Computertomographie hat mit zunehmendem Einsatz der Mikrosystemtechnik in den vergangenen Jahren deutlich an Bedeutung gewonnen. Um zuverlässige CT-Rekonstruktionsdaten zu erhalten, ist der Einsatz einer spannungsstabilisierten Röntgenröhre erforderlich. Aufgrund der umfassenden Expertise in der Konstruktion und Herstellung von Röntgenröhren, ist es phoenix|x-ray nun gelungen, auch CT-Röhren mit nanofocus-Technologie herzustellen.

Abhängig von der geometrischen Vergrößerung können somit erstmalig Voxel- (Volumepixel) Größen von weniger als 1µm dargestellt werden.
Das Anwendungsspektrum erstreckt sich von der Analyse von Materialproben und organischen Präparaten über die zerstörungsfreie Prüfung mikroelektronischer Bauelemente, Sensoren und Sonden, Faserverbundwerkstoffe und gefüllter Spritzgussmassen.
Vor allem Proben, in denen sich einzelne Objektdetails überlagern, sind besonders geeignet für die tomographische Untersuchung, da nach der Rekonstruktion beliebige Schichtbilder und Schnitte untersucht werden können.
phoenix|x-ray Systems, Stuttgart
QE 515
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