Das Dreistrahl-Interferometer vereint in einem Gerät drei Interferometer. Damit sind simultane dreiachsige Längenmessungen sowie die Nick- und Gierwinkel-Erfassung mit höchster Genauigkeit möglich.
Der Grundaufbau der Interferometer entspricht dem Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektor der Serie SP. Der Wegmessbereich beträgt maximal 2 m bei einer Auflösung von 1 nm bzw. 0,1 nm.
Die Winkelmessbereiche betragen etwa +/- 2 Minuten bei einer Auflösung von 0,02 arcsec. Der Strahlabstand von 12 mm wird vom Hersteller kalibriert.
Ein He-Ne-Laser mit hoher Frequenzstabilität versorgt alle drei Interferometer. Damit besitzen die drei Messsysteme dasselbe Wellenlängennormal. Die Laserstrahlung wird mit einem Lichtwellenleiter in den Sensorkopf eingekoppelt.
Anwendung finden Dreistrahl-Interferometer beispielsweise bei der Vermessung von Führungen, Mess-, Mikroskop- und Positioniertischen, bei der Kalibrierung von Mess- und Werkzeugmaschinen, bei Unterschiedmessungen, z.B. Dilatometrie und Werkstoffprüfung, sowie zur hochpräzisen Nick- und Gierwinkelkorrektur bei Zwei- oder Mehrkoordinatenmessungen.
SIOS Messtechnik, Ilmenau
Halle 7 Stand 340
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