Vitronic und tec5 arbeiten im Bereich der Waferinspektion zusammen. Entstanden ist eine inline-Lösung zur Reflexions- und Farbmessung der blauen Antireflexbeschichtung an Wafern. Die Spektrometertechnologie erfasst die physikalischen Eigenschaften der Reflexbeschichtung. Aus diesen Daten wird auf die Schichtdicke und die potenzielle Effizienz des Wafers geschlossen. Erst durch den Einsatz der schnellen Diodenarray-Technologie wird die Inspektion im Produktionstakt möglich. Die applikationsspezifische Software visualisiert live die Testergebnisse jedes einzelnen Wafers. Die Daten werden anhand von neun Messpunkten ermittelt. Die grafische Oberfläche zeigt dem Benutzer nicht nur die physikalischen Werte des getesteten Wafers an, sondern auch die jeweiligen Farbwerte und die daraus abgeleitete Schichtdicke. So lassen sich mühelos die Wafer auch nach ihren Farbeigenschaften sortieren. Alle Prüfergebnisse werden in Protokollen gespeichert und ermöglichen die lückenlose Rückverfolgung jedes einzelnen Wafers. Die Daten können auch für statistische Auswertungen herangezogen werden. Dazu ist außer der kompletten Anbindung an die Anlagensteuerung auch eine vollständige SEGS/GEM-konforme Übermittlung aller Messdaten sicher gestellt.
Vitronic Dr.-Ing. Stein Bildverarbeitungssysteme, Wiesbaden, www.vitronic.de
Teilen:
