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Geometrieprüfung von Silizium-Ingots

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Die als „Ingot-Messsystem“ bezeichnete Anlage von Micro-Epsilon überprüft mit mehreren laseroptischen Sensoren die Oberfläche des Ingots und führt dabei in wenigen Minuten selbstständig eine Messung der Seitenlängen, Phasenlängen, Winkel, Diagonallängen und Planarität der Seitenflächen durch. Die automatische Messanlage vergleicht Solldaten mit den gemessenen Werten und klassifiziert den Ingot. Sie kalibriert sich vollautomatisch auf die gängigen Ingotgrößen 125 x 125 mm, 156 x 156 mm und 210 x 210 mm. Ingotlängen von bis zu 2500 mm sind messbar.

Die Kalibration erfolgt durch integrierte Masterteile. Das Kennzeichnen der defekten Stellen am Ingot erfolgt automatisch mit einer Markiereinheit oder manuell. Für die Ermittlung der Ausbeute spielt auch das Gewicht des Ingots eine Rolle. Deshalb ist die Anlage auch mit einer integrierten Wägezelle lieferbar. Während des Messvorgangs traversiert die Sensorgrundplatte mit der Sensorik entlang des Prüflings.
Micro-Epsilon, Ortenburg www.micro-epsilon.de
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