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Die Nanomess- und Positioniermaschine ist ein dreidimensionales Koordinatenmesssystem höchster Genauigkeit. Sie arbeitet in einem Messbereich von 25 mm u 25 mm u 5 mm mit einer Auflösung von 1,24 nm. Drei Miniaturinterferometer, der Antastsensor und die Winkelsensoren sind so angeordnet, dass im gesamten Messbereich Abbe-Fehler frei gemessen wird.
Die Nanomess- und Positioniermaschine arbeitet in mehreren Betriebsarten: als dynamisches Positioniersystem oder als messendes System mit kontinuierlichem Scanmodus oder Schrittmodus.
Je nach Kundenwunsch können unterschiedliche Tastsysteme zum Einsatz kommen, z.B. Rastersonden- und Rasterkraftmikroskope, Autofokussensoren, kapazitive und induktive Tastsysteme.
Vielseitige Anwendungen gibt es bei der Positionierung, Bearbeitung und Messung von Objekten der Mikroelektronik, der Mikromechanik, der Optik, der Molekularbiologie und der Präzisionstechnik mit Nanometergenauigkeit in großen Raumbereichen.
A QE 408
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