Differenz-Interferometer

Hohe Langzeitstabilität der Längenmessung

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Die Differenz-Interferometer der Serie SP-DI von Sios Meßtechnik werden zur hochpräzisen Differenzlängen- oder Winkelmessung eingesetzt. Sein streng symmetrischer optischer Aufbau bewirkt eine extrem hohe Langzeitstabilität der Längenmessung. Mit der umweltkorrigierten Lichtwellenlänge eines stabilisierten He-Ne-Lasers als natürlicher hochstabiler Maßverkörperung verfügen diese Sensoren über Nanometergenauigkeit.

Zwei parallele Strahlen erfassen die Relativbewegung zwischen einem Bezugspunkt und dem Messpunkt mit höchster Auflösung und Präzision. Der werkseitig kalibrierte Strahlabstand ermöglicht daraus die hochpräzise Winkelerfassung. Der Messbereich beträgt 2 m bei einer Auflösung von 20 pm.
Das Interferometer eignet sich zum Einsatz im Labor und im industriellen Umfeld, auch für Messaufgaben an schwer zugänglichen Stellen. Anwendung findet es zum Beispiel in der Materialforschung oder als OEM-Komponente für Kalibrier- und Positionierzwecke.
Sios Meßtechnik, Ilmenau
Halle 4, Stand 4412
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