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In die Tiefe gehen – an der Oberfläche

Oberflächen-Messsysteme kontrollieren Solarzellenproduktion
In die Tiefe gehen – an der Oberfläche

Die Anforderungen an Effizienz und Qualität von Solarzellen wachsen stetig. Von Forschung und Entwicklung über die Zulieferindustrie bis zur eigentlichen Produktion ist daher eine kontinuierliche Prozessüberwachung unverzichtbar. Für die große Bandbreite von Applikationen gibt es am Markt hochpräzise, optische Messlösungen für Labor und Produktion.

Für die Systeme der Nanofocus AG, Oberhausen, sind dank ihrer hohen Flexibilität alle Messaufgaben mit einer Technik abbildbar. Neben Standardlösungen wurden individuelle Kunden- und Branchenlösungen, beispielsweise für die Kontrolle mono- und polykristalliner Dick- und Dünnschichten, im Hinblick auf Hard- und Software auf die Applikation abgestimmt. Mit den Technologien „μsurf“ und „μscan“ sind zerstörungsfreie Analysen an allen Typen von Solarzellen sowie an allen eingesetzten Materialien wie Metall und Silizium bis hin zu Glas ohne Probenvorbereitung möglich. So ist das optische 3D-Oberflächenmesssystem „μsurf solar“ der Oberhausener die Branchenlösung für alle Applikationen an mono- und polykristallinen Solarzellen, – eine hochpräzise optische Messlösung für die große Bandbreite von Applikationen der Solarbranche in Labor und Produktion. Dank hoher Flexibilität sind alle Messaufgaben an kristallinen Solarzellen mit der konfokalen Technik nanometergenau abbildbar. Für die Messbarkeit spielt es zudem keine Rolle, ob die Oberflächen etwa alkalisch texturiert oder mit einer Anti-Reflexschicht überzogen sind. Durch flächenhafte Auswertung bietet das System größte Datenstabilität – bei sehr hoher Dynamik und intuitiver Bedienung.

So sind beispielsweise für die Vermessung ganzer Solarmodule die Verfahrtische bis in den Meterbereich erweiterbar. Ein Vakuumchuck mit einer Auflagefläche von 210 × 210 mm2 sorgt für die sichere Fixierung der Solarzelle beim Verfahren der Tische, ohne diese zu beschädigen.
Aus der Vielzahl möglicher Anwendungen seien hier einige genannt, die die Universalität der Nanofocus-Technologie deutlich machen:
  • Nanometergenau 12 Flächenmessungen innerhalb von 1 Minute
  • Exaktes Vermessen von Isolationskanälen
  • Alkalisch texturierte Oberflächen
  • Oberflächenstruktur
  • Fingermessung mit und ohne Lichtfallen
  • Sawmarks
  • Isolationskanäle
  • Metallisierung
  • Verbiegung und Welligkeit
  • Laserscribes
Auch bei schwierigen Probeneigenschaften wie steilen Flanken, komplexen Geometrien und Strukturen bis in den Nanometerbereich liefern die NanoFocus-Systeme in wenigen Sekunden exakte und wiederholgenaue 3D-Messwerte. Für mehr Effizienz im Messprozess lassen sich alle Messgeräte mit einer unkomplizierten Automatisierungsfunktion ausstatten.
Nanofocus, Oberhausen
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