Die steigende Forderungen zu Qualitätsnachweisen, Kalibrierungen von Maschinen vor Ort und Fähigkeitsanalysen bei Mess- und Bestückungsmaschinen mit optischer Abtastung/Bilderkennung stellen Hersteller und Zulieferer immer neue Herausforderungen.
Um eine Kalibrierung durchzuführen bzw. einen Qualitätsnachweis zu erbringen, ist der Zugriff auf sehr stabile Kalibrierungswerkzeuge und Messnormale die eine hohe Reproduzierbarkeit sichern, erforderlich.
Für eine optimale Kalibrierung von einer optischen Abtastung müssen die Kalibrierwerkzeuge eine an dem Abtastungsprinzip angepasste Struktur auf einem Träger bieten, der in die Maschine gelegt werden kann.
Als Kalibrierwerkzeuge für optische Abtastung bietet sich Strukturen auf Glasträgern an, sogenannte Glaskalibrierplatten.
Glas hat als Träger für eine Kalibrierplatte u.a. folgende Vorteile
– Hohe Temperaturstabilität
– Hohe Planarität
– Gesicherte Wiederholgenauigkeit
– Strukturen bis 2mm möglich
– Gutes Preis/Leistungsverhältnis.
Die zum Einsatz kommenden Glasträger werden gemäss Kundenspezifikationen gefertigt. Die Strukturen sind zum größten Teil aus Chrom oder anderen ätzbaren Dünnschichten. Die Strukturen werden nach den Bedürfnissen der Kalibrierung festgelegt. Grundsätzlich sind alle Strukturformen und Designs möglich. Als Grundlage für die Herstellung von einem Glaskalibrierwerkzeug werden meistens CAD Daten verwendet.
Eine typische Glaskalibrierplatte hat eine Abmessung zwischen 200 x 200 mm und 400 x 400 mm und eine Dicke von 3 oder 4.8 mm. Je nach Applikation werden Strukturen in reflektierendes Material, vorrangig Chrom, oder bei Bedarf Antireflexschichten aufgebracht .
Um die erforderliche Genauigkeit zu sichern, müssen Kalibrierplatten auf einem Direct Write Lasersystem hergestellt werden.
Nur mit einem Direct Write Laser kann die Dünnschicht auf einem Glassubstrat so genau belichtet werden, dass die fertige Kalibrierplatte die Anforderungen zu der Kalibrierung von Messmaschinen von heute erfüllt.
Die optische Forderungen des Endprodukt setzen eine Herstellung im Reinraum voraus. Eine anspruchsvolle visuelle Endkontrolle muss gewährleistet sein. Die Herstellung von Glaskalibrierplatten mit dieser Genauigkeit setzt umfassendes Know-how in der Herstellung von Glasteilungen voraus. Die IMT Masken und Teilungen AG stellt Glaselemente für verschiedene Arten von Kalibrierungen und Qualitätsnachweisen her. Die mögliche Größen der Glaselemente sind bis 609 x 812 mm mit unterschiedlichen Glasdicken. In der Regel erfüllt kostengünstigeres Floatglas die Anforderungen für die Herstellung von Glaskalibrierplatten.
Halle 3 / 3001 A QE 531
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