Das neue NewView 600 setzt die erfolgreiche Geschichte der NewView-Modellreihe in der preisgünstigen Einstiegsklasse fort. Durch Reduktion der Hardware auf die für die Messtechnik wichtigen Komponenten erhält man ein optisches 3D-Profilometer mit einer Mess- und Wiederholgenauigkeit wie man es nur von ZYGO-Interferometern kennt. Damit erweitert das NewView 600 den Einsatzbereich der NewView-Modellreihe, in denen bisher ein optisches 3D-Profilometer aus Kostengründen nicht in Frage kam. Das NewView 600 basiert auf Zygos herausragender scannenden Weißlicht-Interferometer-Technolgie mit dem FDA- (Frequency Domain Algorithm) Algorithmus. FDA kombiniert die Auswertung von Phasen- und Intensitätinformation in einer Messung. Die Genauigkeit von Stufenmessungen sind somit unabhängig vom gewählten Objektiv und der vertikalen Scanlänge. Die Einsatzbereiche finden sich in der Optikindustrie zur Bestimmung der Rauheit im Sub-Nanometer-Level oder der Ermittlung der PSD-Funktion von superpolierten Oberflächen. Institute können als Ergänzung zum bestehenden AFM ihre messtechnischen Möglichkeiten erweitern. In der Forschung bieten sich messtechnische Möglichkeiten in der z-Dimension, welche die klassische Lichtmikroskopie nicht bieten kann.
zygolot, Darmstadt
Halle 1, Stand 1123
QE 574
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