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Konkurrenzlose Präzision

Einsatz von Splitfieldmikroskopen
Konkurrenzlose Präzision

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SÜSS MicroTec – einer der weltweit führenden Hersteller für Prozess- und Testlösungen für die Halbleiterindustrie – beauftragte WILD mit der Herstellung von Splitfieldmikroskopen für Mask Aligner, um Justiergenauigkeit von Maske und Wafer zu optimieren.

Mikroelektronische Chips und integrierte Mikrosysteme gehören heute zum Alltag und finden sich sowohl in High-tech Geräten, als auch in vielen Dingen des täglichen Gebrauchs. Von hochsensiblen medizintechnischen Geräten bis zur Waschmaschine – kaum ein Industriezweig kann auf den Einsatz von Mikro-Chips verzichten. Um diese herzustellen, benötigt die Halbleiterindustrie Präzisionsmaschinen, die immer schnellere, immer kleinere und immer effizientere Bauteile herstellen müssen. Die SÜSS MicroTec, mit Sitz in Garching bei München, hat in dieser Branche, in der ein enormer Wettbewerbsdruck herrscht, den Weg zum international anerkannten Technologieführer geschafft. Nicht zuletzt aufgrund der Zusammenarbeit mit dem Österreichischen Unternehmen WILD GmbH, das für die SÜSS MicroTec die einzigartigen Splitfieldmikroskope baut.

Auf tausendstel Millimeter genau
Diese Splitfieldmikroskope werden von WILD als fertige Module in die Mask Aligner von SÜSS MicroTec integriert. Mask Aligner übernehmen in der Halbleiterfertigung die genaue Ausrichtung des zu belichtenden Wafers relativ zu einer Maske sowie im Anschluss daran die Belichtung des Wafers mit ultraviolettem Licht zur Darstellung der gewünschten Schaltungsstrukturen. Dies ist eine der empfindlichsten Arbeiten im Fertigungsprozess eines Mikro-Chips, der höchste Präzision erfordert. Schaltkreismaske und Wafer müssen vor dem Belichten auf wenige tausendstel Millimeter genau zueinander justiert werden. Und das bei einem Durchsatz von mehr als 100 Wafern pro Stunde. Verrutscht die Maske um wenige Bruchteile eines Mikrometers, stimmt das Schaltkreisdesign nicht mehr und der Fertigungsprozess liefert Ausschuss anstatt funktionstüchtiger Bauteile.
Um das zu verhindern, integriert die SÜSS MicroTec Splitfieldmikroskope, die der Österreichische Opto-Mechatronik-Spezialist WILD exklusiv für das Münchner Unternehmen fertigt. Bei der Justierung von Maske und Wafer kann das Splitfieldmikroskop seine Vorteile voll ausspielen. „Die einzigartige Technologie dieses Mikroskops erlaubt das Splitten der beiden optischen Kanäle, so dass jeder einzeln betrachtet und die Justagepunkte von Maske und Wafer getrennt voneinander ausgerichtet werden können. Das wiederum ermöglicht die Konzentration auf einen Punkt bei der Justage“, erklärt Ing. Roman Dengg, Leiter des Geschäftsbereichs Halbleiterindustrie bei WILD.
Der Auftrag der SÜSS MicroTec stellte die WILD GmbH vor zwei ganz besondere Herausforderungen, die aufgrund von erstklassigem Kundenservice und höchster Fertigunskompetenz gemeistert werden konnten. Der Produktionstransfer von SÜSS zu WILD erforderte ein spezielles Montage-Know-how, das sich die Mitarbeiter beim Kunden vor Ort angeeignet und in Folge bei WILD entsprechend dokumentiert haben. Auch den hohen Anforderungen beim Aufbau und Abgleich der kostenintensiven Justagevorrichtungen wurde die WILD GmbH absolut gerecht. Ebenso komplex war der Aufbau des Produktionsprozesses. Es galt einen völlig schwingungsfreien Raum zu schaffen. „Trotz einer gewissen Vorlaufzeit ist es uns gelungen, die Kosten für die Produktion der Splitfieldmikroskope so gering zu halten, dass es für unseren Kunden SÜSS MicroTec effizienter ist, die Fertigung auszulagern“, freut sich WILD-Geschäftsführer Mag. Thomas Jost.
Zahlen, Daten und Fakten zur WILD GmbH
Große Namen wie Wild Heerbrugg AG und Leica zählen zu den Gründungsfirmen der WILD GmbH, die seit 1995 ein eigenständiges Unternehmen ist. Die Kernkompetenz von WILD liegt im Bereich Opto-Mechatronik – von der Idee bis zum fertigen Produkt. Das international agierende High-tech Unternehmen beschäftigt sich seit über 30 Jahren mit der Entwicklung und Produktion von Systemen und Baugruppen für die Bereiche Medizintechnik, Luft- und Raumfahrt, Technische Optik und Halbleiterindustrie. Führende Unternehmen weltweit vertrauen auf das einzigartige Know-how aus Österreich.
Derzeit beschäftigt das Unternehmen rund 310 Mitarbeiter. In den letzten zehn Jahren ist der Standort Völkermarkt in Kärnten zur Konzernzentrale geworden. Allein hier sind 250 Mitarbeiter tätig. Die WILD GmbH plant in den nächsten drei Jahren eine Umsatzerhöhung von 30% auf rund 47,4 Mio.
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