Das SURFTENS 300 WH von OEG ist ein Kontaktwinkelmessgerät mit Wafer Handling Robot. Es unterstützt die vollautomatische Messung von 200– und 300mm-Wafern in der Halbleiterfertigung. Die Messstation kann mit Loadports für 200– und 300mm-Wafer ausgerüstet werden, maximal sind 2 Loadports möglich. Die Software steuert die automatische Erkennung der Loadportbelegung sowie die Slotbelegung im Wafer Carrier. Die im Carrier vorhandenen Wafer werden vom Roboter entnommen, auf dem Messtisch platziert und nach frei definierbaren Messvorlagen automatisch vermessen. Im Messumfang sind auch das Notching und das Verdampfen der Messflüssigkeit auf einer Hotplate enthalten.
Die Messergebnisse liefern statistische Aussagen über die Homogenität der Oberflächeneigenschaften, aber auch Einzelaussagen zu jedem Wafer.
SURFTENS 300 WH erfüllt im Halbleiterbereich bestehende Forderungen, von der Reinraumtauglichkeit bis hin zur vollen Automatisierung der Messabläufe ohne manuelles Handling. Es ist ein Hilfsmittel für die Qualitätssicherung und die Technologieentwicklung in der Halbleitertechnologie.
QE 557
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