Die differentiellen Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektor der Serie SP-DIS sind Längenmesssysteme höchster Genauigkeit. Sie eignen sich zur Vermessung und Kalibrierung von Spiegeloberflächen, zur hochgenauen Parallelitätsmessung und zur Messung gegen eine feste Referenz. Sie sind geometrisch und funktionell aufgabenspezifisch anpassbar.
Als Messreflektor können Planspiegel oder reflektierende Oberflächen optischer Qualität verwendet werden. Der Messreflektor kann im Bereich von Winkelminuten zur optischen Achse des Messstrahls verkippt werden, ohne dass die Funktion beeinträchtigt wird. Entsprechend der Größe der reflektierenden Fläche kann das Messobjekt senkrecht zur Messbewegung auswandern. Der Messbereich beträgt 2 m bei einer Auflösung von 0,1 nm.
Die Zuführung des Laserlichtes zum Sensorkopf erfolgt über Lichtwellenleiter (LWL).
SIOS Meßtechnik, Ilmenau www.sios.de
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