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Laser-Interferometer

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Laser-Interferometer

Heidenhain präsentierte mit dem neu entwickelten ILM 1131 ein Laser-Interferometer, das speziell für hochgenaue Positionieraufgaben, Anwendungen in der Labormesstechnik sowie für Forschung und Entwicklung konzipiert wurde. Es löst Messschritte von weniger als einem Nanometer bei einer Messlänge von 10 Metern auf.

Die hohe Genauigkeit des ILM 1131 wird durch spezielle konstruktive Maßnahmen erreicht. Das verwendete Einfrequenz- bzw. Homodyn-Verfahren ermöglicht aufgrund der hohen Signalqualität besonders geringe Positionsabweichung innerhalb einer Signalperiode. Da der He-Ne-Laser im Anzeigegerät untergebracht ist, entwickelt der Messkopf nahezu keine Verlustwärme und kann sehr klein gehalten werden. Die Glasfaserverbindung zwischen Laser und Messkopf ermöglicht zudem ein unabhängiges Aufstellen des Anzeigegerätes.
Die Einflüsse der Umweltparameter Druck, Temperatur und Feuchte, die Auswirkungen auf die Messgenauigkeit haben, werden durch die Verwendung von hochgenauen Sensoren kompensiert. Ebenso wird die Temperatur der Montagefläche bzw. eines Prüflings mittels Materialtemperatursensoren erfasst und automatisch kompensiert. Die Sensoren sind, wie der Laser selbst, einzeln kalibriert und auf nationale Standards rückführbar. Die Kalibrierdaten sind in den Sensoren bzw. im Laser netzausfallsicher gespeichert und werden automatisch in das Anzeigegerät eingelesen.
Die Bedienung des als Stand-alone System entwickelten ILM 1131 ist durch das Display und die Tastatur sehr komfortabel. Zudem ermöglichen die neu entwickelte Interferometer-Optik mit zwei parallelen Ausgangsstrahlen und der kleine Messkopf eine einfache und schnelle Justage.
A QE 623
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