Seit der Verwendung von Endfenster-Röntgenröhren gewann die wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) einen großen Vorteil durch die Möglichkeit der zuverlässigen und schnellen Analyse der sehr leichten Elemente für F&E Anwendungen und für die Prozeß- und Qualitätskontrolle in der Industrie. Beispiele hierfür sind die quantitative Bestimmung von Bor in Mineralen, Gläsern oder BPSG-Wafern, Kohlenstoff in Stäuben oder Gußeisen, Stickstoff in Düngemittel, Sauerstoff im Aluminiumbad und Fluor in Schmierfetten, Zementen oder Pflanzen. In Kuperlegierungen kann Beryllium bis unter 0,1% bestimmt werden. Die untere Nachweisgrenze (3 s) für Bor in Oxiden liegt bei ca. 0,04% und für Kohlenstoff in Gußeisen unter 100 ppm.
Durch den Einsatz sehr dünner 75 µm Röntgenröhrenfenster in Verbindung mit optimierten Multilayer-Analysatorkristallen, sehr breiten Kollimatoren und Detektorenfensterdicken unter 1µm bietet die RFA beste Voraussetzungen für die zuverlässige Analyse der sehr leichten Elemente.
A QE 503
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