Die Linear- und Rotationsmeßtische der Serie K8000 verfügen über einen eingebauten Glasmaßstab und eine leistungsfähige Elektronik. Damit lassen sich die relativen Einstellfehler auf 25 nm minimieren. Für noch höhere Genauigkeit ist die Integration einer interferometrischen Meßeinheit möglich, so daß sich Einstellfehler von 10 nm oder weniger erzielen lassen. Trotz der hohen Genauigkeit sind die Meßtische robust und zuverlässig. Ihren wesentlichen Einsatz finden sie in der Halbleiterindustrie, wo Standzeiten von mehreren 10 000 Stunden beobachtet werden.
A QE 609
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