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Messen von Form und Rauheit

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Messen von Form und Rauheit

Messen von Form und Rauheit
Das Delta NewView von Zygo stellt die konsequente Weiterentwicklung der NewView 5000 Familie dar. Dabei werden besonders die Bedürfnisse der Fertigung berücksichtigt. Die Messtechnik ist in einem industrietauglichen Gehäuse integriert. Die einfache Bedienung wird durch Touch Screen Flachbildschirm und die Zygo MetroPro Software sichergestellt. Der integrierte, schwingungsisolierende Tisch macht den Einsatz in rauer Umgebung möglich. Die Messmaschinen der NewView Serie basieren auf dem Prinzip der in der Höhe scannenden Weißlicht Interferometrie (SWLI). Dabei wird ein Interferometerobjektiv während der Messung in der Höhe verfahren und die Oberfläche dreidimensional erfasst. Mit dem stabilen Aufbau und seiner flexiblen Software steht eine Messmaschine zur Verfügung, die gleichzeitig Mikroform und Rauheit in der Fertigung messen kann. Die Messgeräte sind Q-DAS-Software kompatibel. Die Formüberprüfung kleiner Bauteile ist mit herkömmlichen Messtechniken, wenn überhaupt, nur mit sehr großem Zeitaufwand möglich. Die Anzahl der Messpunkte bestimmt auch hier die Aussagefähigkeit der Formbestimmung. Das Delta NewView erfasst Formflächen dreidimensional, womit man neben einer schnellen Messung auch eine hervorragende Wiederholgenauigkeit erhält. Alle Messungen sind sowohl in z- als auch in x-, y- Richtung rückführbar. Die Rauheitsbestimmung erfolgt mit dem gleichen Gerät, nur das Objektiv wird gewechselt, man erhält eine höhere laterale Auflösung. Der Wechsel erfolgt einfach durch Verschieben eines Linearschlittens mit Erkennung des gewählten Objektives. Immer präzisere Fertigungsprozesse erzeugen Oberflächen, bei denen die klassische Messtechnik an ihre Leistungsgrenzen gelangt. Mit dem Delta NewView kann die Güte auch solcher Bearbeitungsprozesse qualitativ anhand von Grafiken oder quantitativ mit Werten eindeutig bestimmt werden.

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