Bei der In-Prozess-Messtechnik wird die Fertigungsqualität nicht mehr aus der Ferne in einer Laborumgebung beurteilt, sondern die Messwerte werden direkt in der Werkzeugmaschine erfasst. Mit diesem Ziel entwickelt das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT im Geschäftsfeld Optik und optische Systeme zurzeit ein Messsystem zur Prozessüberwachung in der Ultrapräzisionsbearbeitung.
Das Messsystem des Fraunhofer IPT bestimmt mit einem modular aufgebauten Interferometer nanometergenau Formfehler an nicht kooperativen, also optisch glatten Oberflächen mit steilen Flankenwinkeln, die mit herkömmlichen Verfahren nicht mehr messbar sind. Gleichzeitig erfasst es die Rauheit über eine Streulichtauswertung innerhalb von Sekunden.
Die Vorteile solcher optischer Messverfahren gegenüber taktilen Verfahren zeigen sich jedoch nicht nur in höheren Messgeschwindigkeiten sondern speziell in der berührungslosen und damit beschädigungsfreien Charakterisierung von Oberflächen.
Hier kommt auch der bereits auf der Hannover Messe 2003 vorgestellte miniaturisierte Abstandssensor des Fraunhofer IPT in diesem Umfeld zum Einsatz: Mit seinem Durchmesser von rund 500 µm ist er besonders geeignet für Anwendungsgebiete in denen präzise und berührungslos gemessen werden muss, wie etwa in der Augenheilkunde oder bei der Überwachung von Mikromontageprozessen.
QE 521
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