ADE Technologies ist Hersteller von Mess-Sstemen, die vielseitig eingesetzt werden, sowohl für die F&E, als auch für die Qualitätskontrolle in der Produktion von GMR (Giant Magneto-Resistance)- und TMR (Tunnel Magneto-Resistance)-Materialien. MOKE-Mapper-Systeme bieten vielseitige und komplexe Messoptionen, die zerstörungsfrei und ortsaufgelöst die magnetischen Eigenschaften von Multilayer-Systemen aufzeichnen.
Unterschiedliche, bipolare oder Quadrupol-Elektromagnete und eine skalare oder Vektor-Kerr-Effekt Signal-Detektion werden dafür eingesetzt. Der Quadrupol-Magnet erlaubt eine präzise Drehung des magnetischen Feldes um den Messpunkt und dadurch die Untersuchung des Verhaltens des magnetisierten Materials als Funktion vom Winkel des magnetischen Feldes. Durch die direkte Echtzeit-Feldkontrolle können mit den MOKE-Mappern sowohl Hoch- als auch Niedrig-Feld-Kurven mit hoher Auflösung innerhalb von wenigen Sekunden gemessen werden. So misst ein MOKE-Mapper z. B. in 10 Sekunden eine ganze Hysterese-Kurve mit bis zu 16.000 Messpunkten, inklusive graphischer Darstellung und Datenspeicherung.
3D-Maps von bis zu 1.024 Messpunkten sind programmierbar. Die Wafer werden dafür automatisch vom System positioniert. Zusätzlich ermittelt die Software automatisch alle wichtigen Parameter, wie Shift und Koerzitiv-feldstärke der freien bzw. pinning Layer. Durch die Anwendung eines hochstabilen Dioden-Lasers und spezieller Optik kann der Lasermessfleck von 1100 µm (Standard) optional reduziert werden auf 100 µm bzw. 10 µm Durchmesser. Dieses erlaubt eine Untersuchung des Verhaltens von kleinen magnetisierten Strukturen auf Wafern und ist speziell für Forschungsanwendungen nützlich.
Durch die Anwendung von patentierter Vektor-Kerr-Technologie sind die Mapper-Systeme fähig, beide Komponenten des Magnetisierungsvektors durch Kerr-Rotation zu bestimmen.
QE 546
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