Gleich zwei neue Sensoren präsentiert Fries Research & Technology: CWL HR, ein hochauflösender chromatischer Sensor, und CWL IR, ein Infrarot-Schichtdickensensor. Sie erweitern die Funktionalität der FRT Messgeräte um neue Messaufgaben. Beide Sensoren arbeiten berührungslos und zerstörungsfrei nach dem Prinzip der chromatischen Abstandsmessung. Das Licht wird in Abhängigkeit von seiner Wellenlänge in verschiedenen Abständen vor dem Messkopf fokussiert. Durch die Auswertung des reflektierten Lichtspektrums oder der überlagerten Teilstrahlen lassen sich so Oberflächenhöhen, Profile oder Schichtdicken bestimmen.
Der Sensor CWL HR erreicht durch seine modifizierte Optik und eine Superlumineszenzdiode eine der höchsten Lateralauflösungen (< 0,7 μm). Er wird gleichermaßen zur Messung auf spiegelnden, rauen, hochreflektierenden und lichtabsorbierenden Oberflächen sowie zur schnellen Profil- und Topografiemessung genutzt. Stufenhöhen, Abstände und Winkel in der Elektronik- oder Halbleiterfertigung können mit dem Sensor ebenso vermessen werden wie feine Strukturen in der Mikrosystemtechnik oder der Nanotechnologie. Bei Materialien, die für sichtbares Licht opak, für Infrarot aber transparent sind, macht FRT mit dem CWL IR Schichtdicken-Messungen möglich.
FRT Fries Research & Technology, Bergisch Gladbach
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