Bei der Kalibrierung von Werkzeugmaschinen und Positioniereinrichtungen sowie bei der Nachrüstung vorhandener Messmaschinen finden Miniaturinterferometer der Serie MI aufgrund ihrer vorteilhaften Eigenschaften Anwendung. Diese Präzisionslängenmesssysteme mit einem Messbereich bis 5 m und einer Auflösung bis 0,1 nm arbeiten aufgrund der Nutzung von stabilisierten He-Ne-Lasern als Maßverkörperung sowie der Korrektur von Umwelteinflüssen mit einer sehr hohen Genauigkeit und sind absolut linear. Der Vergleich bei der PTB ergab Messunsicherheiten < 2×10–7.
Der lichtwellenleitergekoppelte, wärmequellenfreie Sensorkopf ist äußerst kompakt und unempfindlich gegenüber elektromagnetischen Feldern. Der Messreflektor besitzt kleinste Abmessungen, ein sehr geringes Eigengewicht und ist gut anzubringen. Durch den modularen Aufbau des Miniaturinterferometers kann es einfach für den jeweiligen Anwendungsfall modifiziert werden. Die Sensorköpfe sind kundenspezifisch anpassbar und werden in verschiedenen Materialausführungen angeboten. Sie sind einfach zu justieren, gestatten große Verschiebegeschwindigkeiten bis 0,8 m/s und Verkippungen des Messreflektors von ± 3°. Die Bedienung und Anzeige erfolgt wahlweise über ein Display oder einen PC.
Ein Mehrachsbetrieb kann durch einfache Erweiterung des Basissystems erreicht werden.
SIOS Meßtechnik, Ilmenau
QE 537
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