IBS Precision Engineering bv stellt mit dem CPL-Eurocard Treiber eine Auswerteelektronik für kapazitive Sensoren vor, mit der höchste Genauigkeiten in der Abstandsmessung erzielt werden können. In der Standardauflösung werden 0,4 Nanometer erreicht, unter speziellen Bedingungen wurde sogar eine Auflösung von 75 Pikometern realisiert.
Der CPL-Treiber ist für unterschiedliche Anwendungen in zwei Versionen verfügbar, so dass eine Empfindlichkeitsstufe vorhanden ist oder die Empfindlichkeit an der Bedienblende umgeschaltet werden kann, z.B. für Grob- und Feinjustierung. Eine weitere Version weist keine Bedienelemente an der Frontblende auf und lässt sich als Master oder Slave konfigurieren, um Erdungsfehler zu reduzieren.
Die LED-Balkenanzeige zeigt die absolute Fühlerposition an und dies unabhängig von der Nullpunkteinstellung.
Die Einsatzgebiete für kapazitive Messungen liegen im Maschinenbau, in der Waferherstellung und -verarbeitung sowie in der industriellen Messtechnik. Als Beispiele können Präzisionsmessungen in Werkzeugmaschinen, z.B. bei der Spindelvermessung, die Messung von Waferoberflächen, die hochgenaue Positionierung von Präzisionsmaschinen oder in Wafersteppern genannt werden.
IBS Precision Engineering bv, Eindhoven
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