Die neue Hexalens-Säule des Rasterelektronenmikroskops XL 30 S FEG mit dem patentierten In-Iens Detektor ermöglicht Abbildungen mit hoher Auflösung sowohl von Sekundär-, wie auch von Rückstreuelektronenbildern, selbst bei niedrigen Beschleunigungsspannungen. Das XL 30 S FEG eignet sich dadurch besonders für Anwendungen in der Werkstoffkunde, der Halbleitertechnik und den Biowissenschaften.
Die Hexalens-Säule arbeitet mit einem Sechs-Linsen-System, einschließlich einer umschaltbaren Duo-Mode- Endlinse für die Betriebsarten Feldfreier Standardmodus für Hochauflösung (HR) und Immersions-Modus für Ultrahochauflösung (UHR). Die computergestützte, automatische Strahljustierung ermöglicht ein einfaches Umschalten zwischen den Betriebsarten.
Der Standardmodus bietet eine verzerrungsfreie Bilddarstellung in TV-Frequenz mit gleichzeitig verbesserter Tiefenschärfe, selbst bei kleinen Vergrößerungen. Ein weiterer Vorteil ist, daß sich die Probe nicht in einem Magnetfeld befindet. Dadurch eignet sich diese Betriebsart auch zur Untersuchung magnetischer Proben. Der chromatische Aberrationskoeffizient des Systems wird im UHR Immersions-Mode weitgehend korrigiert, so daß eine hervorragende Bilddarstellung, auch bei niedrigen kV-Werten der Beschleunigungsspannung, möglich ist.
A QE 412
Teilen: