Für die Prüfung von Oberflächenstrukturen steht mit den mechanischen Profilern eine Software zur Verfügung, die neben der ISO-Norm „Berechnung aller Standardparameter“ auch die Möglichkeit umfasst, Konturen beliebig zu bemaßen. Bei Topografiemessungen können spezielle 3D-Parameter berechnet und die Oberflächendaten umfassend gefiltert sowie dargestellt werden. Für berührungslose Messungen gibt es als Option einen Sensor, der nach dem Prinzip der koaxial, optischen Abstandsmessung arbeitet. Zur Charakterisierung feiner Oberflächenstrukturen gibt es auch eine Reihe von Rasterkraftmikroskopen und optischen Profilometern.
A QE 408
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