Die neu entwickelte Autofokus-Sensorfamilie AFS von Breitmeier Messtechnik mit Messbereichen bis 2 mm und einer Auflösung im Nanometerbereich eignet sich zur exakten Wiedergabe von Oberflächenprofilen. Die Dicke von Schichten kann man mit dem integrierten konfokalen Modus erfassen. Der Messlichtstrahl ist sichtbar. Sein Durchmesser beträgt bisher unerreichte 0,5 µm und es lassen sich damit kleinste Strukturen mit Nanometerauflösung abtasten. Die Sensoren sind mit einem proprietären, speziell entwickelten IC aufgebaut und bestehen nur noch aus wenigen Komponenten. Dadurch ist der Sensor äußerst kompakt, unempfindlich und besitzt optional eine integrierte Kamera zur Inspektion des Messfeldes. Die Messstation ist auch mit einem konfokalen Mikroskop oder Weißlichtinterferometer erhältlich. Neben OEM-Anwendungen werden kundenspezifische kompakte Messanlagen angeboten, zur normgerechten Rauheitsmessung auch solche mit einem zusätzlichen lnduktivmesstaster.
A QE 505
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