Die JURCA Optoelektronik stellt Sensoren und 3D-Messsysteme zur berührungslosen Messung von Abständen, Topografien und Schichtdicken im Sub-Micrometer- bis Millimeterbereich vor.
Der mit bereits mehreren hundert Geräten erfolgreich am Markt eingeführte Weißlicht-Sensor CHR150N vereinigt zwei unterschiedliche optische Messverfahren in einem kompakten Gerät: Abstandmessung mit chromatischer Codierung und interferornetrische Schichtdickenmessung.
Auf Basis des CHR150N produziert JURCA 3D-Messsysteme für verschiedenste Messaufgaben. Die dabei zur Positionierung verwendeten Achsen mit XY-Scanbereichen von 50 bis 250 mm sind auf massivem Granit montiert. Alle Achsen besitzen besonders präzise und laufruhige Führungen und sind mit Linearencodern ausgestattet. Darüber hinaus erstellt JURCA komplette Messsysteme auch nach Kundenspezifikationen und zur Inline-Qualitäts-Überwachung.
Der CHR150N besteht standardmäßig aus einem kleinen Messkopf mit 15 mm Durchmesser, und einer Verarbeitungseinheit mit einer Halogenlampe als Lichtquelle. Das Licht wird über einen Lichtleiter zum Messkopf geführt und auf die Oberfläche des Messobjektes fokussiert. Die Messung erfolgt punktuell innerhalb eines Messflecks von wenigen µm Durchmesser und ist unabhängig von Oberflächeneigenschaften der Messprobe, wie z. B. der Farbe, dem Reflektionskoeffizienten, Rauheit usw.
Das auf chromatischer Codierung basierende Messverfahren ermöglicht hochgenaue Distanzmessungen sowie Schichtdickenmessungen an transparenten Schichten. Dafür wird weißes Licht auf die Probenoberfläche fokussiert und das reflektierte Licht spektral ausgewertet. JURCA bietet derzeit Messköpfe mit 300 µm Messbereich (10 nm Auflösung) und 3 mm Messbereich (100 nm Auflösung) an. Weitere Messköpfe mit verschiedenen Messbereichen sind in Vorbereitung.
Als weiterer Messmodus steht nach Wechsel des Messkopfes die weißlichtinterferometrische Schichtdickenmessung zur Verfügung. Das Messverfahren ermöglicht die simultane Ermittlung der Dicken mehrerer aufeinander liegender transparenter Schichten (z.B. Folien, Klebefilme, Lackschichten usw.) mit einer Auflösung von 10 nrn. Der Bereich messbarer Dicken erstreckt sich von 2 µm bis 250 µm (Optische Weglänge). Der Arbeitsabstand des Messkopfes kann während der Messung um mehrere mm variiert werden, ohne die Messung zu beeinträchtigen.
Halle 2 / 2509 A QE 536
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