Die Messung des Photolumineszenz-Spektrums liefert Informationen über die Zusammensetzung einer Legierung,, etwa bei Halbleitern. Die PL-Mapper von Nanometrics, USA, vertreten durch LOT-Oriel, Darmstadt, sind für kurze Messzeiten ausgelegt. Hochauflösende PL-Karten können nun weit schneller als früher üblich erstellt werden..
So ist Vertex ein Standalone-PL-Mapper für industrielle Anwendungen. Dank regelbarer Leistungsdichte des Anregungslasers lässt sich die Photolumineszenz von LED Strukturen an ihre Elektrolumineszenz anpassen. In einer Produktionslinie miteinander abgeglichene PL-Geräte sichern die Vergleichbarkeit der Messergebnisse.
Der schnelle Tabletop PL-Mapper RPM2000 mit einem Spektralbereich von 350 – 2600 nm wird hauptsächlich im F&E-Bereich und der Qualitätskontrolle eingesetzt. Beide Geräte absolvieren die Messung des integrierten PL-Signals eines 2” Wafers mit 1 mm Auflösung in weniger als 20 Sekunden.
LOT-Oriel, Darmstadt www.lot-oriel.de
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