Neu im Produktprogramm von L.O.T.-Oriel sind die Geräte von Nanometrics. Der RPM 2000 ist ein schneller bei Raumtemperatur arbeitender PL-Mapper mit hohem Durchsatz. Er kann in nur 25 Sekunden eine vollständige Spektraluntersuchung eines 2“-Wafers mit einer Auflösung von 1 mm durchführen. Im Pipeline-Modus können 2“- bis 6“-Wafer automatisiert vermessen werden, was auch die Bruchgefahr bei der Handhabung der Wafer verringert. Durch die große Arbeitsdistanz wird die Messungenauigkeit bei der Vermessung von gebogenen Wafern deutlich verringert.
Das NanoSpec 6100 Tabletop-Reflektometer zur Filmanalyse ermöglicht die Bestimmung der Schichtdicke und der optischen Eigenschaften von bis zu drei übereinander gelagerten Filmen. Die geringe Spotgröße von nur 10 µm liefert eine hohe Auflösung. Mit Hilfe der beweglichen Probenhalterung und dem Autofokussystem lassen sich vollständige Karten der Schichtdicke automatisch erstellen.
L.O.T.-Oriel, Darmstadt
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