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Schnelle kapazitive Wegmesssysteme

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Schnelle kapazitive Wegmesssysteme

Diese neuen kapazitiven Wegmesssysteme erlauben Sub-Nanometer Auflösung bei dynamischen und statischen Messungen. Die Systeme bestehen aus einem Elektronikmodul und einem Sensorpaar.

Die Sensoren sind mit Messbereichen von 15 bis 300 µm erhältlich, wobei die Elektronik nicht speziell auf den Messbereich des Sensors abgeglichen werden muss.
Durch eine spezielle elektronische Schaltung wurden zwei Limitationen bisheriger Kapazitivmesssysteme ausgeräumt: 1. Linearität und
2. begrenzte Kabellänge zwischen Sensor und Elektronik.
Das Integrated Linearization System (ILS) minimiert Verkippungseinflüsse des Sensors auf die Genauigkeit und erlaubt eine Messlinearität von 0,05 Prozent.
Bei Verwendung der neuen digitalen Controller des Herstellers wird dieser Wert (durch Linearisierung mit Polynom 4. Ordnung) auf bis zu 0,001 Prozent verbessert.
Die Sensoren können mit Kabellängen bis zu 5 m (ohne Einfluss auf die Messgenauigkeit!) ausgerüstet werden. Mit einer Bandbreite von bis zu 10 kHz eignen sich die Sensoren und Elektronik hervorragend für hochauflösende dynamische Messungen.
A QE 408
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