Das Laser-Messsystem SIRD (Scanning Infrared Depolarization) dient der schnellen und berührungsfreien Analyse von Wafern zur frühzeitigen Erkennung von Fehlern in Wafern.
Aufgrund der Neuartigkeit des Verfahrens gründete der Hersteller eine eigene Arbeitsgruppe, die sich nur mit dem Thema „Yieldverbesserung mit dem SIRD“ auseinandersetzen sollte. Die Gruppe bewertete sowohl das halbautomatische als auch das vollautomatische SIRD System. Die Ergebnisse beider Produkte übertrafen die Erwartungen der Hamburger Forscher. SIRD lässt sich optimal in die Linienfertigung integrieren, arbeitet solide und benötigt wenig Wartung. Die Kontrolle der Defekte in der Waferstruktur. (Sliplines) ist ausgesprochen gut und ein dauerhaftes Monitoring des Prozesses und der Anlage ermöglicht eine sehr frühe Fehlererkennung. Mit diesem Verfahren konnte ein Yieldimprovement von mehr als 5 Prozent erreicht werden.
A QE 604
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