Um empfindliche Bauelemente bei der Röntgeninspektion vor einer unnötig hohen Strahlungsbelastung zu schützen, gibt es jetzt ein Verfahren, welches die Inspektionsproben beim Transport im Röntgensystem auf die jeweils erforderliche Untersuchungsposition total abschirmt, ohne dass die Röntgenquelle hierzu abgeschaltet werden muss. Die Prüflinge werden dadurch bei der Inspektion nur der zur Bilderzeugung erforderlichen Röntgenstrahlung ausgesetzt, wodurch eine mögliche Veränderung der Materialieneigenschaften quasi ausgeschlossen werden kann. Die zum Röntgen erforderliche Hochspannung bleibt dabei erhalten, so dass kein wiederholtes Hochfahren der Röhre erforderlich ist und mit konstanter Leistung gearbeitet werden kann. Empfohlen wird der Einsatz des low-dose/modes vor allem bei Halbleiter-Bauteilen.
A QE 418
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