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Topographiemessung an optischen Linsen

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Topographiemessung an optischen Linsen

Für die Prozesskontrolle bei der Herstellung von Kunststofflinsen muss die Topographie der stark gekrümmten, großen Linsen mit hoher Auflösung gemessen und der Krümmungsradius bestimmt werden. Konventionelle Tastschnittgeräte können für diese Messaufgabe nicht eingesetzt werden, da sie den Boden der konkaven Linsenoberfläche nicht erfassen. Berührungslos messende, optische Messtaster wie Autofokussensoren oder Triangulatoren haben entweder einen zu kleinen Messbereich oder die erforderliche Auflösung wird nicht erreicht. Der FRT MicroProf mit einem konfokalen, chromatischen Abstandssensor bietet hier eine Lösung. Der Sensor fokussiert Weißlicht auf das Messobjekt und bestimmt aus der spektralen Verteilung des an der Oberfläche gestreuten Lichtes die Höhe des Messobjektes im Messfleck. Für verschiedene Messaufgaben stehen unterschiedliche Messköpfe mit Messbereichen bis 3 mm und einer Höhenauflösung ab 3 nm zur Verfügung. Die Linsentopographie wurde mit dem FRT MicroProf aufgenommen. Eingesetzt wurde ein Messkopf mit 3 mm Messbereich. Ein Vielfaches dieses Messbereiches wird mit einer Schichtenmessung erreicht, so dass auch die circa 6 mm hohe Linsenstruktur aufgenommen werden kann.

A QE 427
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