UMIS ist ein Indentationssystem für die Untersuchung mechanischer Eigenschaften von Materialien und dünnen Filmen auf der µm-Skala.
Eine Diamantspitze mit definierter Geometrie dringt in die Oberfläche der zu untersuchenden Probe ein. Eindringtiefe und aufgebrachte Kraft werden vom UMIS aufgezeichnet und verarbeitet. Das System misst Kräfte bis zu einigen µN und Eindringtiefen bis zu einigen nm. Die Software errechnet das elastische Modul und die Härte der Probe als Funktion der Kraft und der Eindringtiefe. Das Gerät zeichnet sich aus durch eine schnelle Datenaufnahme, sphärische und Berkovitch Indenter und eine Steuerungs- und Analyse-Software.
Der Indenter ist an einem Schaft befestigt, der seinerseits über Federn an einem Schlitten montiert ist. Der Schlitten wird durch die Expansion einer Piezokeramik bewegt. Wenn die Indentspitze die Probe berührt, werden die Federn ausgelenkt. Diese Auslenkung wird mit einem Kraft LVDT (Linear Variable Differential Transformer) gemessen. Ein Feedback-System steuert die präzise Kontrolle der aufgebrachten Kraft. Anders als bei herkömmlichen Indentern wird hier die Kraft direkt gemessen.
A QE 503
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