Der Geschäftsbereich Semiconductor Metrology Systems (SMS) von Carl Zeiss, der sich in der Halbleitertechnik auf die Analyse und Reparatur von Photomasken spezialisiert hat, verzeichnete unmittelbar nach der Markteinführung des Geräts PROVE einen kräftigen Zuwachs im Auftragseingang. Das Investitionsvolumen der neuen Aufträge umfasst einen zweistelligen Millionenbetrag.
PROVE, ein 2D Koordinatenmesssystem für Photomasken, wurde unterdessen bei mehreren Chipherstellern in Asien und USA erfolgreich installiert.
Aufgrund der positiven wirtschaftlichen Lage wird die Carl Zeiss SMS ihre Belegschaft am Standort Jena in den kommenden Monaten um rund zehn Prozent aufstocken und die Reinraumkapazitäten erweitern.
PROVE wurde in Jena innerhalb von drei Jahren in Kooperation mit dem Geschäftsbereich Lithographie-Optik von Carl Zeiss in Oberkochen entwickelt. Die Systeme werden in Jena gefertigt
Carl Zeiss SMS, Jena www.zeiss.com/sms
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