Nachdem bereits das Vorgängermodell AL100 der schnellste Mikroskoploader seiner Klasse war, konnte mit dem AL110 der Durchsatz nochmal um 20 Prozent gesteigert werden. Gleichzeitig sind alle Bewegungsabläufe wesentlich feiner abgestimmt, so dass selbst der Transfer besonders dünner Wafer unproblematisch ist. Der Hersteller hat die bewährten Makrofunktionen für die Vorder- und Rückseitenbetrachtung des Wafers optimiert. Während bei konventionellen Makroloadern bei der Rückseitenbetrachtung immer ein Teil der zu prüfenden Fläche unter dem Greifarm verdeckt bleibt, kann beim AL110 die gesamte Fläche des Wafers inspiziert werden. Durch kontaktloses Zentrieren und die neue Gestaltung der Kontaktflächen auf den Greifarmen wird die Berührung zwischen Wafer und Waferloader und die Gefahr von Kontaminationen minimiert. Zusammen mit einer Vielzahl optischer und elektromechanischer Sensoren setzt der AL110 neue Sicherheitsstandards im Waferhandling.
A QE 608
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