Lineartisch

Besonders steif und positioniergenau

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Der Lineartisch ABL1500 arbeitet berührungslos und nahezu wartungsfrei. Da keine Schmierung erforderlich ist, kann er im Reinraum eingesetzt werden. Bild: Aerotech
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Mit seinen geringen Positionierungstoleranzen ist der ABL1500 speziell für das Hochleistungsscannen und die Inspektion geeignet. Das integrierte Linear-Encoder-Feedback meldet Auflösungen im Subnanometerbereich zurück – bei einem Verfahrweg von 500 mm.

Seine hohe Steifigkeit sowie Führungs- und Positioniergenauigkeit machen den ABL1500 von Aerotech für die Halbleiterfertigung interessant. Dafür sorgt die Bauweise mit Luft-auf-Luft-Vorspannung in vertikaler und horizontaler Richtung. Da die Traglast aufgrund der großen Luftlagerfläche über eine große Fläche verteilt wird, ist der Lineartisch sehr steif und somit für schwere oder versetzte Lasten geeignet.

Betrieben wird der Tisch mit einem bürstenlosen BLMC-Linearservomotor des Herstellers. Besonderes Kennzeichen ist der eisenlose Linearmotor für einen coggingfreien Betrieb ohne Anziehungskräfte und gleichmäßige Bewegungen. Das lineare Positioniersystem ist praktisch vollkommen wartungsfrei, alles funktioniert berührungslos, nichts muss geschmiert werden. Das prädestiniert den Tisch für Anwendungen im Reinraumbereich und der Medizintechnik. Da wegen der Luftlagerung unter Verwendung trockener Luft zwischen den angetriebenen Elementen kein mechanischer Kontakt besteht, ist ein Abrieb und eine damit einhergehende Leistungsreduzierung nahezu ausgeschlossen – die Betriebslebensdauer praktisch unbegrenzt.

Erstmals gezeigt wird die neue Serie von Lineartischen der Baureihe ATX. Dies Tische kombinieren die Performance eines hochpräzisen Kreuzrollenlagers mit der Präzision eines Kugelumlaufspindelantriebs. Hohe Führungs- und Positioniergenauigkeiten werden durch diese Lager-Spindel-Kombination erreicht: verwendet wird ein Kreuzrollenlager mit Kriechschutz (verhindert Käfigwandern) und eine präzisionsgeschliffene Kugelumlaufspindel. Laut Hersteller ist die Serie für die unterschiedlichsten hochpräzisen Aufgaben geeignet, darunter die vertikale Positionierung von Sensoren und Kameras, Optikfokussierung wie auch Strahlnachführung und -manipulation.

Der ATX verfügt bereits über eine Vielzahl an Standardfunktionen und Optionen, was eine einfache Integration in ein größeres Subsystem oder eine größere Maschine begünstigt, kann jedoch auch stand-alone verwendet werden. An eine vielseitige mechanische Schnittstelle am beweglichen Schlitten lassen sich andere Positioniertische oder Geräte montieren. Als Antriebe stehen bürstenlose, eisenlose Servomotoren mit oder ohne Feststellbremse sowie Schrittmotoren zur Auswahl. Wer bei Anwendungen mit vertikaler Achse, bei denen der Platz oft begrenzt ist, die Gesamtlänge seines Tisches reduzieren möchte, der kann optional ein Motorumlenkungskit anbringen.

Sämtliche Tische dieser Serie sind mit der Thermocomp-Funktion erhältlich. Dahinter verbirgt sich eine integrierte Temperaturkompensationslösung, um thermischen Schwankungen entgegenzuwirken. Ganz gleich ob variable Temperaturschwankungen oder reibungsinduzierte Selbsterwärmung, die Kompensationslösung gleicht diese aus und sorgt selbst in extremen industriellen Umgebungen für eine hohe Prozessstabilität. Auch die ATX-Serie kann optional über Linear-Encoder für Positionsrückmeldungen betrieben werden. Er wird in der Mitte am beweglichen Schlitten des Tisches montiert und übernimmt die direkte Positionsmessung.

Aerotech, Halle 5, Stand 5218


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