Der Dreistrahl-Interferometer von Sios eignet sich zur simultanen und präzisen Bestimmung von Position und Verkippung, etwa bei der Feinstpositionierung oder bei Kalibrieraufgaben. Die Konstruktion ermöglicht einen einfachen Aufbau von Abbe-fehlerfreien Messanordnungen, problemlose Strahlmodifikationen, etwa durch ein Objektiv und eine flexible Realisierung von Mehrstrahl-Interferometern, die zu einer simultanen Erfassung von mehreren Bewegungen eingesetzt werden können.
Die Messsysteme werden von einem Laser versorgt und werten drei separate Kanäle aus. Besonderer Wert wurde auf einen vollständig symmetrischen optischen Aufbau gelegt. Es können simultan drei Längenwerte mit nm-Genauigkeit erfasst werden. Die synchrone Datenübernahme aller Messkanäle ist gegeben. Die Standardsysteme SP-TR haben einen Winkelmessbereich von ±1,5 Winkelminuten (Arcmin) und einen Wegmessbereich von 2 m. Bei Längenauflösungen von 0,1 nm werden Winkel mit 0,002 Winkelsekunden (Arcsec) aufgelöst.
Sios Meßtechnik Halle 1, Stand 1111
Mehr zum Thema Messe Control
Teilen:
