Mit dem Dreistrahl-Interferometer der Serie SP-TR sind simultane dreiachsige Längenmessungen sowie die Nick- und Gierwinkel-Erfassung mit höchster Genauigkeit möglich.
Der Wegmessbereich beträgt maximal 2 m bei einer Auflösung bis 0,1 nm.
Die Winkelmessbereiche betragen etwa +/- 2 Minuten bei einer Auflösung von 0,02 arcsec.
Ein He-Ne-Laser versorgt alle drei Interferometer. Damit besitzen die drei Messsysteme dasselbe Wellenlängennormal. Die Laserstrahlung wird mit einem Lichtwellenleiter in den Sensorkopf eingekoppelt. Der He-Ne-Laser, der bei größeren Messlängen frequenzstabilisiert wird, sowie die Korrektur der Umwelteinflüsse auf die Laserwellenlänge sind die Grundlage hoher Messgenauigkeit. Anwendung finden Dreistrahl-Interferometer bei Unterschiedmessungen, sowie zur hochpräzisen Nick- und Gierwinkelkorrektur.
SIOS Meßtechnik, Ilmenau
Halle 1 Stand 1111
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