Dreistrahl-Interferometer

Ein einziger Messstrahl pro Achse

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Mit einem Messbereich von bis zu 15 m sind die Dreistrahl-Interferometer SP 15000 TR von Sios Messtechnik für die hochgenaue Längen- und Winkelmessung an Positionierachsen konzipiert, bei der Weg und Winkel simultan erfasst werden sollen. Drei Längenwerte werden gleichzeitig mit Nanometergenauigkeit gemessen. Aus der Differenz jeweils zweier Längenwerte und dem zugehörigen, werkseitig kalibrierten Strahlabstand lassen sich die Winkel hochgenau bestimmen.

Die Strahlabstände betragen im vorgestellten Messsystem 50 mm. Dadurch ergibt sich eine Winkelauflösung von u003C0,04 arcsec. Die Längenauflösung des Interferometers liegt bei u003C0,1 nm. Die Interferometer kommen mit einem einzigen Messstrahl pro Messachse aus, der in sich zurückreflektiert wird.
Die Messreflektoreinheit besteht aus drei Tripelspiegeln. Der maximale Kippwinkel der Reflektoren beträgt ±5°. Mit einem optional erhältlichen, justierbaren Umlenkspiegel wird eine 90°-Strahlumlenkung ermöglicht. Der Mess- und Kalibriervorgang kann mit einer Positioniersteuerung synchronisiert werden. Umfangreiche Möglichkeiten zur galvanisch getrennten Triggerung des Systems erlauben eine Steuerung der Messwertaufnahme.
Sios Meßtechnik Halle 1, Stand 1111
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