Berührungslos und mit hoher Auflösung erfasst das SRA ein 3D-Bild der Probenoberfläche und dazu Daten zur Beschreibung der Topographie. Zur räumlichen Darstellung der Oberflächentextur nutzt es die konfokale Mikroskopie. Dabei werden 2D-Bilder in Schichten übereinandergelegt, jedes mit einer sehr geringen Tiefenschärfe. Die Optik wird dabei Bild für Bild mit kleinsten Inkrementen abgesenkt, mit einer Höhenauflösung bis auf 10 nm. Die Lochblendenscheibe im SRA verwendet Mikrolinsen anstelle bloßer Löcher, was die Lichtausbeute erhöht und Analysen von kaum reflektierenden oder sogar transparenten Oberflächen ermöglicht. Für die vertikale Bewegung des Messkopfs arbeitet das SRA mit einem speziellen Ultraschalltrieb. Dieser verbindet hohe Auflösung mit großer Geschwindigkeit, wobei der mögliche Höhenmessbereich erweitert wird. Dank der kleinen Abmessungen und des geringen Gewichts ist das Gerät neben dem Labor auch als Messkopf für vollautomatische Prozesse in der Fertigungsstraße verfügbar.
Krüss, Halle 6, Stand 6419
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