Als stand-alone System misst das Metrologiegerät Micro Prof 200 berührungslos die Topographie, die Gesamtdicke oder die Schichtdicke einer Werkprobe.
Je nach Anforderungen ermöglicht der Micro Prof auch eine schnelle Übersichtsmessung der gesamten Probe sowie hochaufgelöste Detailmessungen bis in den Sub-Nanometerbereich. Besondere Flexibilität schafft die freie Kombinierbarkeit der Sensoren. Das somit individuell konfigurierbare Multi-Sensor-Konzept von FRT, hat darüber hinaus ein robustes Design und verfügt über zuverlässige wie langlebige Komponenten, die für den Non-Stop-Einsatz in jeder industriellen Umgebung konzipiert sind. Micro Prof hat dabei einen Messbereich von 200 auf 250 mm und eignet sich für die Halbleiter-, die Medizin- und die Automobilindustrie sowie für die Anwendung in den Branchen MEMS/NANO/MST, Saphir, Photovoltaik, Maschinenbau, Optik und Verpackungstechnik.
FRT, Halle 7 , Stand 7409
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