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Präzise Schichtdickenmessungen

Röntgenfluoreszenzspektrometer
Präzise Schichtdickenmessungen

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Das neue Hochleistungsröntgenfluoreszenzspektrometer Bowman von Depratechnik eignet sich zur Schichtdickenmessung und Elementanalyse. Es gibt mehrere, auf unterschiedliche Messaufgaben optimierte Geräte. Die wesentlichen Merkmale: präzise Analysen und Schichtdickenmessungen im Elementbereich zwischen Aluminium und Uran, Sipin-Detektor oder SDD, motorisierte Z-Achse mit festem oder programmierbarem XY-Tisch, gegebenenfalls hochgenau oder mit erweitertem Verfahrbereich, Einzel- oder Multikollimator.

Die modular aufgebauten Geräte bieten mit ihrer 50-W-Röntgenröhre und der optimierten Messgeometrie kurze Messzeiten mit hoher Messgüte, speziell für Enig, Enepig und elektroloses Nickel inklusive Bestimmung des P-Gehaltes. Laserfokus, fester oder multivariabler Fokus sowie verschiedene optische Vergrößerungen sind verfügbar.
Bowman produziert darüber hinaus innovative Röntgenfluoreszenz mit Kapillaroptik für kleine Messflecken mit hoher Intensität. In Verbindung mit einem hochauflösenden Silikondriftdetektor werden kurze Messzeiten mit hoher Ergebnisqualität erreicht.
Depratechnik, Halle 6, Stand 6118

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