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Präzisionsteile mit unterschiedlichen Oberflächen erfassen

3D-Oberflächen-Messgeräte
Präzisionsteile mit unterschiedlichen Oberflächen erfassen

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Newview 8000, Nexview-Profiler und Zegage sind drei opto-elektronische 3D-Oberflächen-Messgeräte (Weißlichtinterferometer) von Zygo. Newview 8000 hat einen offenen Portalaufbau und einen 150 mm großen Probentisch. Mit ihm können Präzisionsteile mit unterschiedlichen Oberflächen erfasst und Parameter wie Rauheit, Planheit, Winkel und Stufen gemessen werden. Messbar sind Profilhöhen von 1 nm (10–6 mm) bis 20 000 µm (20 mm) mit einer Sub-Angström-Auflösung in Z-Richtung, unabhängig von Oberflächenstruktur, Vergrößerung oder Höhe. Dank der integrierten Schwingungsisolation und Surescan-Technologie können auch in vibrationsbelasteter Umgebung präzise Messungen durchgeführt werden.

Der Nexview-Profiler kann bis zu 10 kg schwere Werkstücke aufnehmen. Der Verfahrweg beträgt in XY-Richtung 200 mm, in Z-Richtung 100 mm. Dank Kopfhebemechanismus können Prüflinge mit einer Höhe bis 160 mm geprüft werden. Zu den Besonderheiten gehört eine vollautomatische XYZ- und Neigungs-Verstellung mit nahtloser Aneinanderreihung der Messfelder. Eine spezielle Fokussierhilfe erleichtert die Einrichtung von glatten und merkmallosen Prüfstücken.
Ein Scanner-basierter Mechanismus schützt die Objektive vor versehentlicher Zerstörung. Das Gerät kann vorprogrammierte Palettenmessungen durchführen; ebenso können Einzelmessungen zusammengesetzt werden. Messbar sind Profilhöhen von 1 nm (10–6 mm) bis 20 000 µm (20 mm) mit einer Sub-Angström-Auflösung in Z-Richtung, unabhängig von Oberflächenstruktur, Vergrößerung oder Höhe.
Das Zegage ist dazu ausgelegt, berührungslos 3D-Messungen an feinstbearbeiteten Oberflächen durchzuführen, und misst Oberflächenrauheitsparameter gemäß ISO 25178. Das Gerät hat einen Scan-Bereich bis 20 mm Höhe und zeichnet sich durch eine hohe Auflösung im nm-Bereich aus. Ein Bildsensor mit 1 Mio. Pixel liefert mit sekundenschnellen flächenhaften Messungen 2D- und 3D-Darstellungen, die einen detaillierten Einblick in die Oberflächentopographie geben. Ein integrierter Autofokus und eine Fokussierhilfe erleichtern das Einlegen der Prüflinge und verringern den Bedienereinfluss.
Ametek/Zygo, Halle 1, Stand 1224

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