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Reproduzierbare Spaltbreite

Luftlager
Reproduzierbare Spaltbreite

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Eine Entwicklung aus der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) ermöglicht die Erfassung des Lagerdrucks und dessen reproduzierbare Einstellung und sorgt damit für einen großen Genauigkeitsvorsprung: Mithilfe einer präzisen Regelung der Luftzufuhr stellt sie sicher, dass während des Betriebs eine Genauigkeit von 2 nm erreicht werden kann. Bei dem nachrüstbaren Verfahren wird über mehrere Techniken sichergestellt, dass die Medienversorgung (Luftzufuhr) gut kontrollierbar ist. Das Vakuum wird durch eine Vorvakuumpumpe erzeugt, die bei ausreichender Pumpleistung einen konstanten Unterdruck erreicht. Dadurch kann die zum Betrieb des Lagers erforderliche Luftmenge auf einen Bruchteil dessen reduziert werden, was beim Einsatz einer Venturidüse erforderlich ist. Die Druckluft wird durch einen vorgeschalteten Ausgleichstank temperiert und mit einem nachgeschalteten, dem erforderlichen Volumenstrom angepassten Massenflussregler kontrolliert. Über den am Steuergerät des Massenflussreglers einstellbaren Volumenstrom kann die Lagerspaltbreite reproduzierbar eingestellt werden. Meist enthalten die Steuergeräte auch eine Schnittstelle für die Realisierung einer rechnergesteuerten Bedienung.

PTB-Technologietransfer Halle 1, Stand 1313

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