Die Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1 ist ein Positioniersystem mit hoher Genauigkeit und Reproduzierbarkeit. Sie besitzt einen Positionier- und Messbereich von 25 x 25 x 5 mm bei einer Auflösung von 0,1 nm. Durch die Sensoranordnung wird eine in allen drei Koordinatenachsen fehlerfreie Messung gewährleistet. Als Sensoren dienen Rasterkraftmikroskope, Fokussensoren und miniaturisierte 3D-Taster. Sie sind flexibel austauschbar.
Der speziell entwickelte Laserfokussensor eignet sich für die optische und berührungslose Antastung von Oberflächen und Oberflächenstrukturen. Er besitzt einen Messbereich von 3 µm und hat eine Auflösung von 1 nm. Der Brennfleckdurchmesser beträgt circa 1 µm, der Arbeitsabstand zur Oberfläche 1,5 mm. Mit Hilfe einer CCD-Kamera wird das Messobjekt beobachtet. Anwendungsgebiete liegen in der Positionierung, Manipulation, Bearbeitung und Messung von Objekten der Mikroelektronik, Mikromechanik, Optik, Molekularbiologie und Mikrosystemtechnik.
Sios, www.sios.de Halle 1, Stand 1111
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