Der Microprof von FRT ermöglicht eine Vielzahl von Messaufgaben, die schnell, effizient und intuitiv durchgeführt werden können. Ob Topographie, Gesamt- oder Schichtdicke – das Messgerät ist durch die optische Multi-Sensor-Technik universell einsetzbar. Verschiedene optische Messverfahren, die sonst nur als Einzellösungen erhältlich sind, wurden zu einem universellen, platzsparenden Gerät kombiniert.
Je nach Anforderung lassen sich sowohl schnelle Übersichtsmessungen der gesamten Probe als auch hochauflösende Detailmessungen bis in den Sub-nm-Bereich durchführen. Möglich wird dies durch die individuellen Kombinationen der Sensoren. Durch die Integration einer Thermoeinheit kann die Oberflächentopographie von Bauteilen unter kontrollierter thermischer Belastung gemessen werden. Dies ist unerlässlich, da Änderungen an den Bauteilen durch thermische Beanspruchung zu Funktionsfehlern oder gar Ausfällen führen können.
FRT, Halle 7, Stand 7411
Mehr zum Thema Messe Control
